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標準參考材料® 2000

高分辨率 X 射線衍射校準標準

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     NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射本標準參考材料（SRM）為高分辨率X射線衍射（HRXRD）社區提供了國際單位制（SI）[1]可追蹤的SI（220）d間距，透射面到晶面晶片以及我們的參考波長的反射中的表面到Si（004）布拉格角。SRM 2000的一個單元包括標稱50 nm的25 mm×25 mm×0.725 mm雙拋光（100）取向單晶Si樣品Si0.85Ge0.15外延層和25nm Si帽。這些認證值可用于校準HRXRD儀器。

              NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射表1。SRM 2000認證值

                        數量（a）認證值擴展不確定度（b），k=2時的U

                                                     dSRM 0.192 016 1 nm（22.5°C時）0.000 000 9 nm

                                    ξSRM 4.360 mrad 0.027 mrad

                                       fSRM–360 mrad 16 mrad

                                                                                   xSRM–1.534 mrad 0.072 mrad

                                                                                   ySRM 4.0810 mrad 0.019 mrad

                          θ表面，SRM（004）0.604 785 rad 0.000 076 rad

                                   （a） 數量的標識見表2。

                                   （b） 不確定度方法見[2-4]。

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