旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)(又稱旋涂機(jī)、甩膠機(jī))是一種利用高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，將膠液均勻涂覆在硅片、玻璃等平滑基底表面以形成薄膜的精密設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)及科研領(lǐng)域 。
該設(shè)備通過控制轉(zhuǎn)速、時(shí)間、加速度等參數(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度和均勻性的準(zhǔn)確調(diào)控。典型工作流程包括滴膠、加速旋轉(zhuǎn)、勻膠和溶劑揮發(fā)四個(gè)階段，后形成納米至微米級(jí)的均勻薄膜 。
核心工作原理
基底固定與液體滴加
將待涂覆的基底(如硅片、玻璃、晶圓等)固定在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(真空吸盤或卡盤)上，通過自動(dòng)或手動(dòng)方式將液體準(zhǔn)確滴加至基底中心。
高速旋轉(zhuǎn)與離心力作用
旋轉(zhuǎn)平臺(tái)加速至設(shè)定轉(zhuǎn)速(通常為數(shù)百至數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘)，離心力驅(qū)使液體從中心向邊緣擴(kuò)散，形成均勻薄膜。多余液體被甩離基底，薄膜厚度逐漸穩(wěn)定。
溶劑揮發(fā)與薄膜固化
涂覆后的薄膜通過加熱或真空環(huán)境干燥，溶劑揮發(fā)后形成固態(tài)或半固態(tài)薄膜，完成固化過程。
核心組件與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(真空吸盤/卡盤)
固定基底并高速旋轉(zhuǎn)，采用真空吸附或機(jī)械卡盤設(shè)計(jì)，確?；自谛D(zhuǎn)過程中不發(fā)生偏移或脫落。
點(diǎn)膠裝置
支持靜態(tài)點(diǎn)膠(基底靜止或低速旋轉(zhuǎn)時(shí)滴加)與動(dòng)態(tài)點(diǎn)膠(基底高速旋轉(zhuǎn)時(shí)滴加)，部分型號(hào)集成自動(dòng)滴膠單元，提升薄膜均勻性與重復(fù)性。
腔體與排氣系統(tǒng)
封閉式內(nèi)腔設(shè)計(jì)通過頂蓋與底部排氣口協(xié)同控制氣流，*小化湍流、穩(wěn)定干燥環(huán)境，防止涂液飛濺與異物污染。部分型號(hào)采用多區(qū)域排氣擋板，進(jìn)一步優(yōu)化涂層均勻性。
控制界面
現(xiàn)代旋涂機(jī)配備觸摸屏或數(shù)字控制面板，支持轉(zhuǎn)速、時(shí)間、加速度等參數(shù)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)與程序存儲(chǔ)，操作界面智能化與簡便化。
關(guān)注公眾號(hào)